V priebehu desaťročí prebiehal výskum s cieľom vyvinúť aktuátor s rozlíšením mikrometrov, ktorý dokáže pracovať s polovodičovým spracovaním a dá sa spúšťať pomocou bežných elektronických signálov. Boli vyvinuté základné mikroskopické roboty, ale všetky majú obmedzenú funkčnosť, pretože konvenčná kremíková elektronika sa nepoužíva efektívne. Vedcom z Cornellovej univerzity sa však úspešne darilo vytvárať milióny stomikrometrových chodiacich robotov, ktoré pracujú pomocou konvenčnej elektroniky.
Vyvinuté roboty sú také malé (asi také veľké ako paramecium), že stovky z nich môžu súčasne prechádzať cez hypodermickú ihlu. Tieto roboty majú malé fotovoltaické panely, na ktoré je možné zamerať externý laser a vydávať príkazy robotovi. Majú štyri elektrochemické akčné členy ako nožičky, ktoré sa pripájajú k kremíkovej fotovoltaike, ktorá slúži ako spracovateľské centrum. Na to, aby bol mozog robotov malý a uvoľniteľný, bola použitá existujúca polovodičová technológia.
Každý robot má extrémne tenké platinové prúžky, ktoré majú na jednej strane vrstvu titánu. Po nanesení kladného elektrického náboja na platinové prúžky sa objavia záporné ióny z blízkeho prostredia a tento náboj sa vyrovná. Rovnaké ióny spôsobujú, že platina sa rozširuje a ohýba nohu. Polymérové kúsky na kovových pásoch umožňujú vytvorenie ohybových bodov, napodobňujúcich kolená alebo členky.
Podľa vedcov tím pracoval na tom, aby boli roboty kompatibilné so štandardnou výrobou mikročipov, čím sa otvorili dvere k tomu, aby boli tieto mikroskopické roboty inteligentné, rýchle a hromadne vyrobiteľné. Tím tiež dodal, že z jediného 4-palcového kremíkového plátku je možné pomocou existujúcich litografických procesov vyrobiť asi milión nových robotov. Tieto roboty úspešne vydláždili cestu pre vývoj čoraz zložitejších mikroskopických robotov, ktoré sa jedného dňa môžu používať v ľudskom tele. Ďalej tím plánuje vykonať elektronickú integráciu na týchto malých robotoch.